Мониторы толщины пленки высокого разрешения MTM-10 и MTM-20 

Только для использования с напылительными и углеродными установками Cressington.

Толщиномер высокого разрешения и контроллер толщины основаны на принципе, согласно которому частота колебаний кварцевого кристалла изменяется под воздействием массы осажденной пленки на его верхней грани. Электронное измерение этого эффекта позволяет определить толщину осажденной пленки. После ввода в систему плотности испаренного материала толщина измеряется с разрешением 0,1 нм на четырехразрядном светодиодном дисплее с диапазоном 0-999,9 нанометров. Кристалл и держатель устанавливаются в вакуумной камере и подключаются к источнику питания FTM через входящий в комплект вакуумный ввод.

Толщиномер высокого разрешения MTM-10 — экономичный способ контроля толщины

Точный ручной контроль толщины пленки во время осаждения труден, если не невозможен. Белая плитка с каплей масла иногда используется для грубой оценки толщины покрытия углерода, но не может быть использована, когда требуются повторяющиеся, воспроизводимые покрытия. Использование инструментальных настроек также не является точным методом, поскольку уровень вакуума (для напыления) и время (для испарения) являются очень критичными параметрами. Толщиномер высокого разрешения MTM-10 обеспечивает повторяемость толщины покрытия, устраняет догадки и является удобным. Использование инструментального коэффициента позволяет проводить точные измерения тонких пленок.

Толщиномер высокого разрешения MTM-10 подходит к любой из систем напыления и углеродного покрытия Cressington.

Система состоит из:

1. Блок контроллера MTM-10

2. Кабели BNC / 3. колено BNC

4. Блок осциллятора

5. CS-108 вакуумный канал с разъемом BNC/SMB и встроенным кольцевым уплотнением

6. Кабель держателя кристалла 7" / 108 мм

7. Держатель кристалла с винтом M4 размером ?19 x 20мм высотой. Площадь кристалла ?6мм

Толщиномер высокого разрешения MTM-20

Толщиномер высокого разрешения MTM-20 специально разработан для систем напыления Cressington и полностью совместим с системами напыления 108auto, 108auto/SE и 208HR.

Технические характеристики толщиномера высокого разрешения MTM-10 и регулятора толщины высокого разрешения MTM-20

Общие характеристики:

• Микропроцессор, 4-разрядный дисплей, кнопочное обнуление
• Кристалл 6 МГц с проверкой срока службы
• Скорость обновления 5 раз в секунду

Диапазон толщины:

• 0,0 - 999,9 нм (позиция/отрицательная)

Разрешение:

• 0,1 нм для золота или углерода

Диапазон плотности:

• 0.50 - 30.00 г/см3

Диапазон коэффициентов инструмента:

• 0.25 - 8.0

Вакуумная подача:

• CS-108; диаметр 10 мм до толщины пластины/фланца 9 мм.

Держатель кристаллов:

• Нержавеющая сталь ø19 x 20 мм. Резьбовое отверстие M4 для крепления, размер кристаллов 1/2".

Кабель держателя кристалла:

• Mini-SMB, гнездо/штекер между держателем кристаллов и вакуумным входом CS-108.

Функция процессора:

• Четыре набора значений могут быть сохранены в памяти в разделе "Плотность" и четыре в разделе "Инструментарий" для MTM-10 и MTM20.

Контроллер MTM-20:

• Только для MTM-20: Функция программируемой остановки толщины с интерфейсным кабелем остановки на 108 auto, 208HR и DC-100
• Диапазон остановки 0-999,9 нм

MTM-10/20 Размер коробки, ШхДхГ

• 210 x 160 x 77 мм

Информация для заказа

93004 MTM-10 Система контроля толщины высокого разрешения* 110 В переменного тока, 50/60 Гц

93004-220 MTM-10 Система контроля толщины с высоким разрешением* 220 В переменного тока, 50/60 Гц

93006 MTM-20 Система контроля толщины с высоким разрешением* 115 В переменного тока, 50/60 Гц

93006-220 MTM-20 Система контроля толщины с высоким разрешением* 220 В переменного тока, 50/60 Гц

93005 MTM-10 Система контроля толщины высокого разрешения, для платформы RPT или RT* 110 В переменного тока, 50/60 Гц

93005-220 MTM-10 Система контроля толщины с высоким разрешением, для RPT или RT платформы* 220 В переменного тока, 50/60 Гц

93007 MTM-20 Система контроля толщины высокого разрешения, для платформы RPT или RT* 115 В переменного тока, 50/60 Гц

93007-220 MTM-20 Система контроля толщины с высоким разрешением, для RPT или RT платформы* 220 В переменного тока, 50/60 Гц

93004-30 Осциллятор для MTM-10/20

93004-31 Дополнительный BNC-кабель для MTM-10/20, длина 3 фута

93004-32 Вакуумный канал CS-108 для MTM-10/20

93004-35 Держатель кристалла для MTM-10/20

93004-36 Кабель держателя кристалла для MTM-10/20, длина 6 дюймов (для 108)

93004-37 Кабель держателя кристалла для MTM-10/20, длина 12 дюймов (для 108, 108SE, 208)

93008 Сменные кристаллы для MTM-10/20

93009 Сменные кристаллы для MTM-10/20

93004-10 Комплект оборудования для снятия толщины пленки без MTM-10

93004-12 Комплект аппаратуры для определения толщины пленки для платформы RPT без MTM-10

*Система монитора толщины высокого разрешения MTM-10 и система контроллера толщины высокого разрешения MTM-20 включают: Блок контроллера MTM, кабель BNC, генератор, вакуумный ввод; кабели; держатель кристалла, тестовый кристалл; инструкции.

*RPT: Вращательно-планетарно-поворотная платформа