208HR Напылитель покрытия высокого разрешения для FESEM-приложений 

Напылительные установки высокого разрешения 208HR компании Cressington предлагают реальные решения проблем, возникающих при нанесении покрытий на сложные образцы для получения изображений методом FESEM. Для FESEM-приложений необходимы чрезвычайно тонкие, мелкозернистые, однородные покрытия для устранения заряда и улучшения контраста на материалах с низкой плотностью. Чтобы минимизировать влияние размера зерна, 208HR предлагает полный спектр материалов для нанесения покрытий и обеспечивает беспрецедентный контроль над толщиной и условиями осаждения. Высоковакуумная система 208HR с турбонасосом предлагает широкий диапазон рабочих давлений, позволяя точно контролировать равномерность и соответствие покрытия, минимизируя эффект зарядки. Конфигурация камеры HIGH/LOW позволяет легко регулировать расстояние от мишени до образца. Измеритель толщины высокого разрешения MTM-20 имеет разрешение более 0,1 нм. Это позволяет получать точные и воспроизводимые тонкие покрытия, особенно в диапазоне 0,5 - 3 нм — толщина, желательная для применения в FESEM.

Предпочтительными материалами покрытия для применения в FESEM являются:

• Pt/Pd: материал покрытия общего назначения с высоким разрешением для непроводящих образцов.
• Cr: отлично подходит для полупроводниковых материалов и визуализации обратно рассеянных электронов с высоким разрешением.
• Ir: превосходный, практически беззернистый материал покрытия.

Система 208HR доступна в нескольких конфигурациях, что позволяет получать покрытия с наилучшим высоким разрешением для ваших задач. Система 208HR может поставляться со стандартным роторным насосом для нанесения покрытий или насосом с сухими спиралями для применения в чистых помещениях. Стандартная модель 208HR включает в себя как хром, так и платину/палладий в качестве целевых материалов. Также имеется модель 208HR Iridium, включающая иридиевую мишень, обеспечивающую превосходное мелкозернистое покрытие для получения высокоразрешающих FE-SEM изображений на широком спектре образцов.

Основные характеристики

Широкий выбор материалов покрытий. Конструкция магнетронной головки и эффективное управление газом обеспечивают широкий выбор материалов мишени.

Точный контроль толщины. Толщина оптимизирована для рабочего напряжения FESEM с помощью регулятора толщины высокого разрешения MTM-20.

Многоугловые перемещения столика. Раздельные вращательные, планетарные и наклонные движения стола обеспечивают равномерное покрытие с отличным соответствием, даже на образцах с высоким рельефом.

Несколько держателей образцов. Четыре держателя для образцов с возможностью установки образцов диаметром до 32 мм.

Изменяемая геометрия камеры. Геометрия камеры используется для регулировки скорости осаждения для оптимизации структуры.

Широкий диапазон рабочих давлений. Независимая регулировка мощности и давления позволяет работать при давлении газа аргона в диапазоне 0,2-0,005 мбар.

Компактный, современный, настольный дизайн. Компактная и энергосберегающая конструкция исключает необходимость в дополнительной занимаемой площади, воде или специализированных электрических соединениях.

Простота эксплуатации. Эксплуатация и настройка системы очень похожи на стандартное напыление и не требуют дополнительной очистки по сравнению с ионно-лучевыми установками.

Высокая конфигурация 208HR

Контроллер толщины высокого разрешения MTM-20

Конфигурации и краткие технические характеристики системы 208HR 

• Система нанесения покрытий 208HR с камерой диаметром 150 мм и переменной высотой 165 - 250 мм.
• Магнитронная распылительная головка, затвор, Cr & Pt/Pd мишень или Ir мишень стандарт. В качестве опции доступны следующие мишени: Ag, Au, Au/Pd, Cr, Cu Fe, Ir, Mo, Nb, Ni, Pd, Pt, Pt/Pd, Ta.
• Подача напыления с полным микропроцессорным управлением и цифровым независимым контролем тока.
• Насосная система с комбинацией турбонасоса и роторного насоса, обеспечивающая быструю откачку.
• Настольная система с полностью металлической муфтой и антивибрационным столом для роторного насоса..
• Для применения в чистых помещениях предлагается дополнительный насос с сухой спиралью.
• Встроенный турбомолекулярный насос обеспечивает быструю откачку в сочетании с высокой положительной скоростью откачки во время процесса напыления.
• Этап отбора образцов RPT с регулируемой скоростью и 4 выбираемыми держателями образцов
• Контроллер толщины высокого разрешения MTM-20, микропроцессорный контроллер с разрешением 0,1 нм.

 Напылитель высокого разрешения 208HR является комплексным решением и включает в себя: насосную систему, регулятор толщины MTM-20, вращающуюся планетарно-наклонную платформу с 4 держателями образцов, Cr & Pt/Pd мишени или Ir мишени. 

Поворотно-планетарные наклонные и поворотно-наклонные платформы для 208HR, 208C, 108 Auto/SE и 108C Auto/SE

Роторно-планетарно-наклонная RPT-платформа (#9524)

Поворотно-вращательная платформа (#9660)

Существует два типа вращающихся платформ для напылителей покрытия Cressington серий 108/SE и 208:

1.Вращательно-планетарно-наклонная (R-P-T) платформа; эта платформа обеспечивает многоугольное перемещение нескольких образцов для нанесения напыления и испарения углеродного покрытия. Стадия R-P-T может быть сконфигурирована с 4 специальными держателями для большинства типов креплений SEM, креплений для больших образцов и поперечных сечений. R-P-T обеспечивает лучшую однородность и более равномерное покрытие на топографических образцах, чем при использовании статического столика. Она позволяет наносить покрытие на большее количество образцов. R-P-T подходит ко всем большим конфигурациям камер, используемых в сериях 208 и 108/SE установок для нанесения покрытий Cressington. Со специальными адаптерами для больших образцов платформа R-P-T может использоваться в качестве поворотной платформы.

2.Вращательно-наклонная (R-T) платформа; эта платформа в основном используется для больших образцов на установках 208C и 108carbon/SE. Она также полезна для теневой техники на высоковакуумном турбоуглеродном покрытии 208C. Платформа R-T сконфигурирована для размещения стандартных стеклянных слайдов 1" x 3", обычно используемых для изготовления углеродных опорных пленок. 

Обе платформы R-P-T и R-T встроены в монтажный хомут диаметром 150 мм, что позволяет быстро изменять конфигурацию. Также в комплект входят стеклянные и металлические прокладки для регулировки высоты камеры, регулятор скорости вращения и внешняя регулировка наклона с рычагом блокировки. (Примечание: Регулировка наклона составляет 0-90° без датчика контроля толщины, но ограничена 0-60° при установке датчика контроля толщины).

Информация для заказа

9524 Вращательно-планетарно-наклонная (R-P-T) платформа (переменная скорость с питанием от батареи 9 В)

9660 Вращательно-наклонная (R-T) платформа (переменная скорость с питанием от батареи 9 В)

Универсальный адаптер переменного тока для Cressington R-P-T и R-T

Универсальный комплект адаптера переменного тока для замены батареи 9 В в платформах R-P-T и R-T. Вход 100-240 В переменного тока, 50/60 Гц. Выход 9 В. В комплекте с набором наиболее популярных вилок питания.

Информация для заказа

9631 Комплект адаптера R-P-T или R-T 9VDC, 100-240VAC 50/60Hz

Технические характеристики напылителя покрытия высокого разрешения  208HR

Напылительная головка 

• Низковольтный планарный магнетрон 
• Быстрая смена мишени
• Обхватывающий экран темного пространства 
• Затвор для кондиционирования мишени

Мишени 

• Cr, Pt/Pd (стандарт) или IR (иридиевое покрытие)
• опционально: Au, Au/Pd, Cu, Ni, Pd, Pt, Ta, Ti и W

Подача напыления 

• Микропроцессорная система 
• Защитная блокировка 
• Контроль постоянного тока независимо от вакуума
• Цифровой выбор тока (20, 40, 60 или 80 мА)

Размер камеры 

• 150 мм OD (6")
• Переменная высота, 165 - 250 мм (6,5" - 9,8"), включая стеклянный цилиндр (65 мм В и 2 металлических проставочных кольца)

Платформа для образцов 

• Неповторяющееся вращательное, планетарное движение с ручным наклоном 0-90° 
• Вращение с переменной скоростью 
• Кристаллическая головка 
• 4 держателя образцов (указать при заказе)

Аналоговое измерение

• Вакуум Атм - .001мб 
• Ток 0-100 мА

Метод управления 

• Автоматическое управление функциями продувки и утечки газа 
• Автоматическая последовательность процессов 
• Цифровой таймер (5-300 сек) с паузой 
• Автоматическая вентиляция

Контроль толщины 

• Контроллер MTM-20 с устройством заделки

Насосная система

Конфигурация

• Комбинация турбонасоса / роторного насоса 
• Опциональный насос с сухими спиралями вместо роторного насоса

Скорость откачки 

• 300 л/мин при 0,1 мб

Время откачки

• 1 мин до 1 x 10-3мб

Предельное давление

• 1 x 10-5мб

Настольная система 

• Роторный насос установлен на совместимом с настольным оборудованием антивибрационном столе 
• Полностью металлическая система вакуумного соединения

Контроллер толщины

MTM-20 

• Микропроцессорный 
• 4-х разрядный дисплей, кнопка обнуления 
• Кристалл 6 МГц с проверкой срока службы 
• Скорость обновления 5 раз/сек

Диапазон толщины 

• 0,0 - 999,9нм

Разрешение 

• лучше, чем 0,1 нм

Диапазон плотности 

• 0.50 - 30.00гм/см3

Диапазон коэффициентов обработки инструмента 

• 0.25 - 8.00

Диапазон окончаний 

• 0 - 999.9nm

Требуемые ресурсы

Электричество 

• 100-120 или 200-240 В переменного тока, 50/60 Гц, (пожалуйста, укажите)

Мощность 

• 550VA макс.

Газ аргон 

• Чистота, мин. 99,995% 
• Регулируемое давление 5 - 6 фунтов на кв. дюйм (0,4 бар) 
• Шланговое соединение, 6,0 мм (1/4") ID шланг

Размеры системы

Размеры

• Ширина 600 мм, Глубина 600 мм, Высота 450 мм (с роторным насосом)

Вес

• 40 кг (с роторным насосом)

Информация для заказа

8000 208HR Напылитель покрытия высокого разрешения для FESEM, 115 В переменного тока, 50/60 Гц, Cr и Pt/Pd мишени

8002 208HR Иридиевое напылительное устройство для FESEM, 115 В переменного тока, 50/60 Гц, мишень Ir

8004 208HR Напылительное устройство высокого разрешения для FESEM, система сухой накачки, 115 В переменного тока, 50/60 Гц, Cr и Pt/Pd мишени

8008 208HR Иридиевое напыление для FESEM, система сухой откачки, 115 В переменного тока, 50/60 Гц, мишень Ir

Системы 220 В, когда 115 В недоступно:

8000-220 208HR Напылительное устройство высокого разрешения для FESEM, 220 В переменного тока, 50/60 Гц, Cr и Pt/Pd мишени

8002-220 208HR Иридиевое покрытие для FESEM, 220 В переменного тока, 50/60 Гц, мишень Ir

8004-220 208HR Напылительное устройство высокого разрешения для FESEM, система сухой накачки, 220 В переменного тока, 50/60 Гц, Cr и Pt/Pd мишени

8008-220 208HR Иридиевое напыление для FESEM, система сухой откачки, 220 В переменного тока, 50/60 Гц, мишень Ir

Размеры основания (мм) 

1. Блок управления 

2. Вакуумная камера 

3. Монитор толщины

4. Турбомолекулярный насос 

5. Роторный насос и антивибрационная база

Запасные части и расходные материалы для напылителей покрытий серии 208

• 8025 О-образное кольцо, 150 мм, для стеклянного цилиндра для 208C, 208HR, 108 Auto/SE и 108C Auto/SE
• 8006 Стеклянный цилиндр высокий (150 мм D x 150 мм H), для легкого осаждения, для 208HR, 208C, 108 Auto/SE и 108C Auto/SE
• 8009 Стеклянный цилиндр короткий (150 мм Д х 65 мм В), для интенсивного осаждения, для 208HR, 208C, 108 Auto/SE и 108C Auto/SE
• 8091-1 Металлическое проставочное кольцо, для 208HR, 208C, 108 Auto/SE и 108C Auto/SE
• 93010 Заостренные углеродные стержни, наконечник с двойной шейкой 6,2x38 мм (1/4 "x1-1/2"), 60 Гц
• 93015 Углеродные стержни, класс 1, 6,5x305 мм (1/4 "x12"), 60 Гц
• 93016 Угольные стержни, класс 1, 6,5x305 мм (1/4 "x12"), 50 Гц
• 57-10 Двухступенчатая точилка для угольных стержней, для стержней 1/4" (Cressington 108C & 208C)
• 57-12 Сменные лезвия для двухступенчатой точилки для угольных стержней, для стержней 1/4"
• 9611 Фильтр для вентиляционного входа, в комплекте со шлангом 1/4" для 108Auto, 108Auto/SE, 108Carbon, 108Carbon/SE, 208HR и 208C
• 9612 Пружины ползуна угольного стержня для источника углерода Bradley
• 9613 Ползун карбонового стержня, замена или запасной
• 9614 Медные оплетки для источника углерода Bradley
• 9615 Керамические изоляторы для источника углерода Bradley
• 9616 Комплект изоляторов из тефлона для источника углерода Bradley
• 9617 Сменный источник углерода Bradley для 108C и 208C
• 93008 Сменные кристаллы для MTM-10/20
• 93009 Сменные кристаллы для MTM-10/20
• 9609 Фильтр масляного тумана для Pfeiffer DUO 3.0 (#7010)
• 891-38 Масло Pfeiffer P3 для Pfeiffer DUO 3.0 (#7010)
• 8000-20 Комплект смазки для турбонасоса 208HR и 208C ATP80 (не HiPace 80)
• 16820-25 PELCO® Блок держателя решетки ТЭМ для 25 решеток ТЭМ
• 16820-81 Блок держателя решетки PELCO® TEM для 81 решетки TEM